版图画的是矩形，硅片上为什么变圆角？光刻光学邻近效应与 OPC 修正 从成像低通滤波与光刻胶阈值响应出发，解释为什么硅片上的图形与 GDS 版图不一致，以及 OPC 如何用规则表与迭代仿真做反向补偿。 2026-08-06 半导体与微纳制造 #半导体 #光刻 #版图 #OPC #光学邻近效应 #计算光刻
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从物镜到芯片：超表面光镊如何“抓住”微粒 上一篇讲清了光镊为什么能夹住微粒；这篇深入超表面方案——如何用一片亚波长结构替代高数值孔径物镜，把光镊搬上芯片，以及 2024–2026 年超表面光镊阵列在量子计算领域的爆发。 2026-08-05 光学与光子学 #光学 #超表面 #纳米光子学 #量子计算 #光镊