版图画的是矩形,硅片上为什么变圆角?光刻光学邻近效应与 OPC 修正 从成像低通滤波与光刻胶阈值响应出发,解释为什么硅片上的图形与 GDS 版图不一致,以及 OPC 如何用规则表与迭代仿真做反向补偿。 2026-08-06 半导体与微纳制造 #半导体 #光刻 #版图 #OPC #光学邻近效应 #计算光刻
从物镜到芯片:超表面光镊如何“抓住”微粒 上一篇讲清了光镊为什么能夹住微粒;这篇深入超表面方案——如何用一片亚波长结构替代高数值孔径物镜,把光镊搬上芯片,以及 2024–2026 年超表面光镊阵列在量子计算领域的爆发。 2026-08-05 光学与光子学 #光学 #超表面 #纳米光子学 #量子计算 #光镊
为什么伴随方法让纳米光子逆向设计从逐个模拟变成一次算完? 引言:当设计空间里有数百万个参数在设计一个纳米光子器件——比如将光从一根波导高效耦合到另一根波导的转换器——设计师通常要确定的不仅仅是几个结构参数,而是设计域中每个位置的材料配置。在拓扑优化中,设计域被离散成数十万甚至数百万个网格像素,每个像素决定这里放材料还是不放材料。这种自由度带来的问题很直接:如何高效地寻找最优配 2026-08-05 光学与光子学 #光学仿真 #拓扑优化 #纳米光子学 #伴随方法 #逆向设计
超表面逆向设计:伴随方法如何让光子器件自动进化 引言:设计图上的完美,为什么造不出来?超表面领域有一个经典困境:仿真软件里的理想响应非常漂亮——完美的相位控制、接近 100% 的透射效率——但流片回来,性能缩水一半。2026-08-02 那篇《超表面为什么怕加工误差》已经从工艺角度拆解过这个问题。 但问题的另一半在于设计方法本身。 传统的超表面设计流程是”单元库扫描 2026-08-05 光学与光子学 #超表面 #拓扑优化 #伴随方法 #逆向设计 #光子器件
一束光真的能“夹住”微粒吗?光镊的梯度力、陷阱刚度与片上化 从 2018 年诺贝尔物理学奖的光镊出发,讲清散射力与梯度力如何构成稳定陷阱、为什么陷阱像弹簧,再延伸到超表面片上光镊。 2026-08-05 光学与光子学 #物理学 #光学 #生物物理 #光镊 #光压