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2026

08-13

文献解读 | High-NA EUV 光刻的同轴四镜投影器：一种消除掩模 3D 效应的方案（arXiv 2025）

08-06

浸没式光刻机介绍

08-06

版图画的是矩形，硅片上为什么变圆角？光刻光学邻近效应与 OPC 修正

07-23

统一紧束缚模型：失配层状化合物的电子结构与伊辛超导

01-30

矢量光学的胜利：偏振光在纳米光刻中的物理原理与工程应用

01-30

芯片制造的“刻刀”：详解光刻机波长分类与 Stepper/Scanner 区别