贝塞尔光束原理：为什么一束光可以不扩散
从亥姆霍兹方程的精确解出发，解释贝塞尔光束为什么能在长距离上保持中心光斑不扩散：所有平面波矢站在同一个圆锥面上。同时介绍有限孔径与贝塞尔-高斯光束的现实约束、轴锥与超表面等产生方式、自愈机制及应用。
文献解读 | High-NA EUV 光刻的同轴四镜投影器：一种消除掩模 3D 效应的方案（arXiv 2025）
解读 Shintake 2025 年 arXiv 论文：用两级等曲率凹-凸镜对搭建同轴四镜投影器，把数值孔径推到 0.5/0.7（Hyper-NA），让掩模与晶圆在曝光时都保持静止，从光学根因上缓解 EUV 光刻的掩模 3D 效应。
RCWA 严格耦合波分析原理：周期性结构光学响应的高效计算
介绍严格耦合波分析（RCWA）：从 Floquet 空间谐波展开、分层模式求解到散射矩阵匹配，说明它如何高效计算光栅与超表面等周期结构的光学响应，以及稳定实现与收敛性问题。