高斯光束参数与传输:束腰、瑞利长度、M² 与 ABCD

一句话结论:高斯光束的束腰、瑞利长度与发散角由波长和束腰唯一锁定,M² 把同一组关系推广到真实光束。

一、从傍轴波动方程到厄米-高斯模

一束激光如果真是无限大的平面波,它不会发散;但任何实际光束的横向尺寸都有限。把有限宽度的光场做平面波展开,会得到一束传播方向略有差异的平面波,它们的干涉在传播一段距离后必然让光斑变宽。这就是衍射,和激光器做得好不好无关。要描述一束既沿 $z$ 轴传播、横向又保持光滑分布的光,最省事的做法是先承认发散很小,再解一个近似方程。

从标量亥姆霍兹方程出发:

$$ \nabla^2 E+k^2E=0 $$

其中 $k=2\pi/\lambda$。设光沿 $z$ 轴传播,把场写成 $E(x,y,z)=u(x,y,z)e^{-ikz}$,$u$ 是随 $z$ 缓慢变化的复包络。代入后得到

$$ \nabla_T^2u-2ik\frac{\partial u}{\partial z}+\frac{\partial^2u}{\partial z^2}=0. $$

如果光束发散足够慢,$u$ 对 $z$ 的二阶导数远小于一阶项,

$$ \left|\frac{\partial^2u}{\partial z^2}\right|\ll\left|2k\frac{\partial u}{\partial z}\right|, $$

就得到傍轴波动方程:

$$ \nabla_T^2u-2ik\frac{\partial u}{\partial z}=0. $$

“傍轴”在这里有可操作的含义:光束与 $z$ 轴的夹角很小,发散半角满足 $\theta^2\ll1$;对高斯光束,这等价于 $w_0\gg\lambda/\pi$。后文会看到,当聚焦到波长量级时,这个条件开始失效,需要更严格的方法。

这个方程在直角坐标下分离变量,得到一族正交解——厄米-高斯模。第 $(m,n)$ 阶模的电场可以写成

$$ E_{mn}=C_{mn}\frac{w_0}{w(z)}H_m\!\left(\frac{\sqrt2x}{w(z)}\right)H_n\!\left(\frac{\sqrt2y}{w(z)}\right) \exp\!\left[-\frac{r^2}{w^2(z)}\right] \exp\!\left\{-i\left[kz+\frac{kr^2}{2R(z)}-(m+n+1)\zeta(z)\right]\right\}, $$

其中 $r^2=x^2+y^2$,$H_m$ 是厄米多项式,$w(z)$ 是束宽,$R(z)$ 是波前曲率半径,$\zeta(z)$ 是 Gouy 相位,$C_{mn}$ 是归一化常数。时间约定取 $e^{-i\omega t}$;若换用 $e^{+i\omega t}$,相位整体取共轭,$(m+n+1)\zeta$ 的符号也会随之改变;物理上的附加相位是同一个量,只是写法随约定改变。

取 $m=n=0$,$H_0=1$,上式退化为基模高斯光束。它的强度是

$$ I_{00}(r,z)=I_0\left[\frac{w_0}{w(z)}\right]^2e^{-2r^2/w^2(z)}. $$

指数里的因子 2 来自电场平方,所以 $r=w$ 处强度降到峰值的 $e^{-2}\approx13.5\%$。这个 $w$ 就是常说的 $1/e^2$ 半径;在 $r<w$ 的圆内集中了约 $1-e^{-2}\approx86.5\%$ 的功率。若用半高全宽(FWHM)描述,同一高斯光束的 FWHM 直径约为 $1.177w$,数值不同但描述的是同一个分布。

高阶模的强度分布是

$$ I_{mn}=I_0\left[\frac{w_0}{w(z)}\right]^2H_m^2\!\left(\frac{\sqrt2x}{w}\right)H_n^2\!\left(\frac{\sqrt2y}{w}\right)e^{-2r^2/w^2}. $$

$m$、$n$ 分别给出 $x$、$y$ 方向的暗节线数目:TEM00 没有节线,TEM01 和 TEM10 各有一条,TEM11 有两条。图 1 把这些横模排在一起,可以看到光斑形状是模阶的直接结果,而不是人为选定的图样。

厄米-高斯横模的强度分布

图 1:厄米-高斯横模的强度分布。横向指数 $(m,n)$ 分别对应 $x$、$y$ 方向的暗节线数目;左上角的 TEM00 是基模,横向分布为单一高斯。

稳定谐振腔的本征模通常可以写成厄米-高斯模的叠加,基模 TEM00 的光束质量最好,所以很多激光器会通过选模尽量只让基模起振。这里不展开腔的纵模与选模条件,只需记住:从腔里出来的横模阶数越高,横向图样越复杂,后面要讲的 $M^2$ 也越大。

二、束腰、瑞利长度、发散角与波前

高斯光束的横向分布由 $w(z)$ 描述,而整条 $w(z)$ 曲线只由两个量决定:束腰半径 $w_0$ 和波长 $\lambda$。把束腰放在 $z=0$,束宽随传播距离变化为

$$ w(z)=w_0\sqrt{1+\left(\frac{z}{z_R}\right)^2}, $$

其中

$$ z_R=\frac{\pi w_0^2}{\lambda} $$

称为瑞利长度。$z=0$ 处 $w=w_0$,这是整束光最细的位置,称为束腰。$|z|=z_R$ 时 $w=\sqrt2w_0$,光斑面积正好翻倍;所以 $z_R$ 常被当作光束开始明显发散的尺度,$2z_R$ 则常被称为准直距离或共焦参数。严格说 $2z_R$ 不是硬截止,超过它以后束宽仍连续增大,只是在 $|z|\ll z_R$ 的范围内 $w(z)\approx w_0$,看起来像平行光。

远场 $z\gg z_R$ 时,$w(z)\approx w_0 z/z_R$,光束变成一条以束腰为顶点的圆锥。定义远场发散半角

$$ \theta=\frac{\lambda}{\pi w_0}, $$

于是 $w(z)\approx\theta z$。把 $z_R$ 和 $\theta$ 的表达式相乘,得到一个很好用的恒等式:

$$ w_0=\theta z_R. $$

它说明束腰、瑞利长度和发散角不是三个独立的数:只要知道其中两个,第三个就定了。工程上常用的光束参数乘积(beam parameter product,BPP)是 $w_0\theta$;对理想高斯光束

$$ \mathrm{BPP}=w_0\theta=\frac{\lambda}{\pi} $$

只由波长决定。想让光束传得远,就要把 $w_0$ 做大、把 $\theta$ 做小;想把光聚得很细,就要接受更大的发散角。这是衍射给出的交换关系,不是透镜或激光器的工艺缺陷。

波前的形状由曲率半径 $R(z)$ 描述:

$$ R(z)=z\left[1+\left(\frac{z_R}{z}\right)^2\right]. $$

在束腰处 $R\to\infty$,波前是平面;离开束腰后 $R$ 先减小,在 $z=z_R$ 附近达到极小值 $2z_R$,然后随 $z$ 增大而渐近于 $R\approx z$,也就是球面波。图 2 把这些量画在同一条束宽曲线上;图 3 则把聚焦光束的等相位面画出来,可以直观看到束腰附近波前接近平面、离开束腰后逐渐弯曲。

高斯光束的束宽演化与参数

图 2:高斯光束的束腰、瑞利长度与远场发散角。束腰处半径最小;在 $z=\pm z_R$ 处束宽增至 $\sqrt2w_0$;远场两条渐近线的半角为 $\theta$。

聚焦高斯光束的强度与等相位面

图 3:聚焦高斯光束的强度分布与等相位面。点线表示波前,虚线表示束宽;束腰附近波前接近平面,离开束腰后波前逐渐弯曲。

除了曲率半径,高斯光束还有一个不改变强度、却会改变相位的量:Gouy 相位

$$ \zeta(z)=\arctan\left(\frac{z}{z_R}\right). $$

从束腰前很远处传到束腰后很远处,基模的 Gouy 相位总共变化 $\pi$;第 $(m,n)$ 阶模则变化 $(m+n+1)\pi$。它不影响 $|E|^2$,但在干涉、谐振腔模式和锁模里会实打实地改变相位条件。焦点前后相位不同,原因就在这里。

表 1 给出几组典型量级。所有数值都按上面的公式计算,保留三位有效数字;实际光束还要用 $M^2$ 修正,下一节先讲 $q$ 参数和透镜,再讲 $M^2$。

表 1:按 $z_R=\pi w_0^2/\lambda$、$\theta=\lambda/(\pi w_0)$ 计算的高斯光束典型参数

情形 波长 $\lambda$ 束腰 $w_0$ 瑞利长度 $z_R$ 发散半角 $\theta$ $2z_R$
氦氖激光 633 nm 0.5 mm 1.24 m 0.403 mrad 2.48 m
光纤激光 1064 nm 1 mm 2.95 m 0.339 mrad 5.91 m
聚焦光束 633 nm 5 µm 124 µm 40.3 mrad 248 µm
聚焦光束 1064 nm 20 µm 1.18 mm 16.9 mrad 2.36 mm

把表 1 的第一行和第三行对比:波长相同,腰斑从 0.5 mm 缩小到 5 µm,缩小了 100 倍;发散角从 0.403 mrad 增大到 40.3 mrad,放大了 100 倍;瑞利长度从 1.24 m 缩短到 124 µm,缩短到原来的万分之一。这个“100 倍—100 倍—一万倍”的关系,就是 $w_0=\theta z_R$ 和 $z_R\propto w_0^2$ 的直接结果。

三、q 参数与 ABCD:把传播和透镜写成矩阵

上面几个量描述的是“某个 $z$ 处的光束”。如果光路里有一块透镜,焦点会移到哪里、光斑会变成多大?逐段做衍射积分很麻烦。复光束参数 $q$ 把 $w$ 和 $R$ 打包成一个复数,自由空间和薄透镜则写成 $2\times2$ 矩阵,整条光路就变成矩阵乘法和一次分式变换。

定义

$$ \frac{1}{q(z)}=\frac{1}{R(z)}-i\frac{\lambda}{\pi w^2(z)}. $$

若束腰在 $z=0$,则 $q(z)=z+iz_R$:实部是离开束腰的距离,虚部是瑞利长度。束腰处 $R\to\infty$,$q=iz_R$ 是纯虚数。光经过一个由矩阵

$$ M=\begin{pmatrix}A&B\\C&D\end{pmatrix} $$

描述的光学系统后,$q$ 按 ABCD 定律变换:

$$ q_2=\frac{Aq_1+B}{Cq_1+D}. $$

自由空间段 $d$ 和薄透镜 $f$ 的矩阵分别是

$$ M_{\mathrm{free}}(d)=\begin{pmatrix}1&d\\0&1\end{pmatrix}, \qquad M_{\mathrm{lens}}(f)=\begin{pmatrix}1&0\\-1/f&1\end{pmatrix}. $$

多个元件串起来时,把后经过的矩阵放在左边相乘。比如“先过透镜、再走距离 $d$”的整体矩阵是 $M_{\mathrm{free}}(d)M_{\mathrm{lens}}(f)$。矩阵只描述近轴光线和近轴波前,遇到硬边光阑、强截断或大角度偏折时要另做衍射计算。

看一个最常用的例子:入射束腰正好在透镜上,腰斑 $w_{\mathrm{in}}$,瑞利长度 $z_R=\pi w_{\mathrm{in}}^2/\lambda$,所以 $q_1=iz_R$。经过薄透镜后

$$ q_2=\frac{q_1}{1-q_1/f} =\frac{iz_R}{1-iz_R/f} =\frac{-z_R^2/f}{1+(z_R/f)^2} +i\frac{z_R}{1+(z_R/f)^2}. $$

把 $q_2$ 写成 $z_2+iz_R'$,读出射束腰的位置和新的瑞利长度:

$$ z_0'=-z_2=\frac{f}{1+(f/z_R)^2}, \qquad z_R'=\frac{z_R}{1+(z_R/f)^2}. $$

出射腰斑为

$$ w_0'=\sqrt{\frac{\lambda z_R'}{\pi}} =\frac{w_{\mathrm{in}}}{\sqrt{1+(z_R/f)^2}}. $$

当 $z_R\gg f$ 时,$z_0'\approx f$,且

$$ w_0'\approx\frac{w_{\mathrm{in}}f}{z_R}=\frac{\lambda f}{\pi w_{\mathrm{in}}}. $$

这就是常说的“聚焦光斑与 $f$ 成正比、与入射束宽成反比”。入射光越粗,焦点越小;焦距越短,焦点越小。但它有一个容易被忽略的前提:入射束腰在透镜上,且 $z_R\gg f$。如果入射光束在透镜处还没有到腰,或者 $z_R$ 和 $f$ 同量级,就要用上面的精确式,不能直接套近似。

图 4 画出一般情形:入射束腰 $w_0$ 距透镜 $z_0$,出射束腰 $w_0'$ 距透镜 $z_0'$;上面的算例取 $z_0=0$,即入射束腰正好在透镜上。

薄透镜对高斯光束的变换

图 4:薄透镜对高斯光束的变换。入射束腰 $w_0$ 距透镜 $z_0$,出射束腰 $w_0'$ 距透镜 $z_0'$;$q$ 参数经透镜矩阵变换后给出这两个量。

表 2 用 $\lambda=1064$ nm、$w_{\mathrm{in}}=1$ mm 算了几组焦距。此时入射瑞利长度 $z_R=2.95$ m,远大于表中的 $f$,所以近似式和精确式只差不到千分之一。

表 2:薄透镜聚焦的束腰、瑞利长度与焦点位置($\lambda=1064$ nm,$w_{\mathrm{in}}=1$ mm,入射束腰在透镜处)

焦距 $f$ 出射腰斑 $w_0'$ 出射瑞利长度 $z_R'$ 焦深 $2z_R'$ 焦点位置 $z_0'$
50 mm 16.93 µm 0.846 mm 1.69 mm 49.99 mm
100 mm 33.85 µm 3.383 mm 6.77 mm 99.89 mm
200 mm 67.58 µm 13.49 mm 26.97 mm 199.09 mm

表 2 里焦距翻倍,腰斑也翻倍,焦深变成四倍。想把光聚得更细,就要缩短焦距或扩大入射束宽;代价是焦深变短、透镜相对孔径变大、像差和装调误差更敏感。这个取舍在第五节还会以另一种形式出现。

四、M² 与 ISO 11146:真实光束的“等效高斯”

前面的公式默认光束是理想的 TEM00 模。真实激光器可能同时起振几个横模,也可能有像差、光阑截断或增益分布不均匀,结果是对同样的腰斑,它发散得比理想高斯更快。工程上用光束质量因子 $M^2$ 描述这种差距:

$$ M^2=\frac{\pi w_0\theta}{\lambda}, $$

其中 $w_0$ 和 $\theta$ 是实际光束的腰斑半径与远场发散半角。理想高斯光束 $M^2=1$;实际激光光束通常 $M^2>1$,$M^2=1$ 是理想基模的极限。反过来写,

$$ \theta=\frac{M^2\lambda}{\pi w_0}, \qquad z_{R,\mathrm{eff}}=\frac{\pi w_0^2}{M^2\lambda}=\frac{z_R}{M^2}. $$

也就是说,$M^2$ 越大,同样腰斑下的发散角越大,等效瑞利长度越短。若用焦距 $f$、入射束宽 $w_{\mathrm{in}}$ 的透镜聚焦,焦点腰斑约放大为

$$ w_0'\approx\frac{M^2\lambda f}{\pi w_{\mathrm{in}}}, $$

而焦深按新的腰斑和 $M^2$ 计算。这一点在加工和耦合里很实际:厂商标称的 $M^2$ 不是“质量评分”,它直接进入光斑和焦深的估算。

$M^2$ 和横模阶数还有一个干净的关系。对纯厄米-高斯模,按第二矩束宽定义,

$$ M^2=m+n+1. $$

TEM00 的 $M^2=1$;TEM01 或 TEM10 的 $M^2=2$;TEM11 的 $M^2=3$。这解释了为什么单横模工作受重视:不是基模看起来更漂亮,而是同样的腰斑下它发散最小、聚焦后峰值强度最高。混合模的 $M^2$ 不是简单把各阶模的 $m+n+1$ 相加,而是由各模的功率权重和束宽定义共同决定。

真实光束的 $M^2$ 怎么测?ISO 11146 的思路是:不直接相信某一个位置的光斑,而是沿传播方向测一串束宽,拟合出一条双曲线,再从腰斑和渐近线斜率提取 $M^2$。束宽用强度分布的第二矩定义。对 $x$ 方向,

$$ d_{\sigma x}=4\sigma_x, \qquad \sigma_x^2=\frac{\int (x-\bar x)^2I(x,y)\,\mathrm{d}x\,\mathrm{d}y}{\int I(x,y)\,\mathrm{d}x\,\mathrm{d}y}, $$

其中 $\bar x$ 是强度质心。对高斯光束,$d_\sigma=2w$,恰好等于 $1/e^2$ 直径;对非高斯光束,第二矩束宽和 $1/e^2$ 束宽可能明显不同,所以比较不同仪器或不同厂商的数据时,必须先确认束宽定义。

沿 $z$ 轴测得一串 $d_\sigma(z)$ 后,用双曲线拟合:

$$ d_\sigma^2(z)=d_{\sigma0}^2+\Theta^2(z-z_0)^2, $$

其中 $d_{\sigma0}$ 是束腰处的第二矩直径,$\Theta$ 是全发散角(不是半角)。拟合出这两个量后,

$$ M^2=\frac{\pi d_{\sigma0}\Theta}{4\lambda}. $$

对理想高斯光束,$d_{\sigma0}=2w_0$、$\Theta=2\theta$,代回上式正好得到 $M^2=1$,可以和第二节的 $M^2=\pi w_0\theta/\lambda$ 互相校验。

测量上有几个容易出错的地方。ISO 11146 要求至少取 10 个位置,并且要覆盖束腰附近和远场,也就是瑞利长度内外都要有数据;如果只在束腰一侧取样,拟合出的双曲线会被噪声带偏。第二矩对背景光、探测器截断和相机非线性很敏感:光斑被孔径切掉一点,外围的低强度区被丢掉,$d_\sigma$ 就会偏小;背景没扣干净,$d_\sigma$ 又会偏大。脉冲激光还要让快门或相机与脉冲同步,否则测到的是平均后的光斑。厂商规格书里的 $M^2$ 如果没有注明束宽定义和拟合方法,只能当作参考。

表 3:相同腰斑与波长下,$M^2$ 对发散角、等效瑞利长度和聚焦光斑的影响($w_0=1$ mm,$\lambda=1064$ nm,$f=100$ mm,$w_{\mathrm{in}}=1$ mm;按公式计算,不代表特定型号)

$M^2$ 远场发散半角 $\theta$ 等效瑞利长度 $z_{R,\mathrm{eff}}$ $2z_{R,\mathrm{eff}}$ 聚焦腰斑 $w_0'$
1.0 0.339 mrad 2.95 m 5.91 m 33.9 µm
1.3 0.440 mrad 2.27 m 4.54 m 44.0 µm
1.5 0.508 mrad 1.97 m 3.94 m 50.8 µm
2.0 0.677 mrad 1.48 m 2.95 m 67.7 µm

表 3 说明,$M^2=1.5$ 时同样腰斑的远场发散角增大约 50%,聚焦腰斑也增大约 50%;如果反过来要求聚焦到同样小的斑,等效瑞利长度会缩短为原来的 $1/M^2$,焦深更短。下一节把这些参数放到具体的聚焦、耦合、准直和加工场景里。

五、参数落到工程:聚焦、耦合、准直与加工窗口

前面把参数定义清楚了;这一节只看一件事:给定一束光和一个任务,哪几个数决定结果。下面所有例子都用前面的公式,数值可以用 verify_numbers.py 复查。

聚焦:光斑与焦深的取舍

对入射束腰在透镜上、且 $z_R\gg f$ 的高斯光束,聚焦腰斑和焦深分别是

$$ w_0'\approx\frac{\lambda f}{\pi w_{\mathrm{in}}}, \qquad 2z_R'=\frac{2\pi w_0'^2}{\lambda}. $$

表 2 已经给出 $\lambda=1064$ nm、$w_{\mathrm{in}}=1$ mm 时三组焦距的结果:$f=50$ mm 对应 16.9 µm 的腰斑和 1.69 mm 的焦深,$f=100$ mm 对应 33.9 µm 和 6.77 mm,$f=200$ mm 对应 67.6 µm 和 27.0 mm。焦距翻倍,腰斑翻倍,焦深变成四倍。想把光聚得更细,就要缩短焦距或扩大入射束宽;代价是焦深更短、透镜相对孔径更大,装调和像差也更难。

如果光束有 $M^2>1$,要区分两种问法。第一种是“透镜和入射光束不变,$M^2$ 会怎样”:聚焦腰斑变成理想情况的 $M^2$ 倍,焦深也变大,但在功率不变时峰值强度按 $1/M^4$ 下降。第二种是“我要求焦斑仍然是 20 µm,$M^2$ 会怎样”:焦深会缩短为理想情况的 $1/M^2$。表 4 是第二种问法的结果;很多激光加工和光纤耦合的指标属于这一种,不要把第一种的“焦深变大”直接套到第二种问法上。

表 4:同一聚焦腰斑下,$M^2$ 对焦深的影响($\lambda=1064$ nm;按 $2z_R'=2\pi w_0'^2/(M^2\lambda)$ 计算)

聚焦腰斑 $w_0'$ 焦深 $2z_R'$,$M^2=1$ 焦深 $2z_R'$,$M^2=1.5$
20 µm 2.36 mm 1.57 mm
34 µm 6.83 mm 4.55 mm
50 µm 14.8 mm 9.84 mm

单模光纤:腰斑匹配与对准容差

单模光纤的导模在端面附近可以近似成高斯模,模场半径记作 $w_f$;厂商常给模场直径(MFD),$w_f=\mathrm{MFD}/2$。把入射高斯模和光纤模场代入重叠积分,在两者同轴、同一束腰平面、无倾斜且偏振一致的条件下,耦合效率为

$$ \eta=\left(\frac{2w_1w_2}{w_1^2+w_2^2}\right)^2, $$

其中 $w_1$ 是入射到光纤端面的光束腰斑,$w_2=w_f$。当 $w_1=w_2$ 时 $\eta=1$;偏离越大,效率下降。若有横向偏移 $d$,再乘一个因子:

$$ \eta=\left(\frac{2w_1w_2}{w_1^2+w_2^2}\right)^2 \exp\left[-\frac{2d^2}{w_1^2+w_2^2}\right]. $$

取 $\lambda=1064$ nm、$w_{\mathrm{in}}=1$ mm、$f=10$ mm,得到 $w_0'=3.387$ µm。设 $w_f=3.1$ µm(模场直径约 6.2 µm,具体以光纤规格书为准),腰斑比 $1.09$,$\eta=0.992$,损耗约 0.035 dB。若聚焦腰斑变成 5 µm,$\eta$ 降到 0.802,损耗约 0.96 dB;若聚焦腰斑只有 1.69 µm,$\eta$ 约 0.707,损耗约 1.5 dB。表 5 列出这几个点。

表 5:腰斑比对单模光纤耦合效率的影响($w_f=3.1$ µm;按重叠积分计算,未计偏移、倾斜和波前误差)

聚焦腰斑 $w_0'$ 腰斑比 $w_0'/w_f$ 耦合效率 $\eta$ 损耗
3.10 µm 1.00 1.000 0 dB
3.39 µm 1.09 0.992 0.035 dB
5.00 µm 1.61 0.802 0.96 dB
1.69 µm 0.55 0.707 1.50 dB

表 5 的曲线在顶部比较平:腰斑比在 1 附近 ±10% 时,效率仍高于 99%。实际装调中更敏感的是横向偏移、倾斜和波前曲率。光纤端面要放在束腰处,让入射波前接近平面;如果端面离焦,波前弯曲,重叠积分下降。对匹配腰斑 $w_1=w_2=w$,横向偏移 $d=w$ 时 $\eta=e^{-1}\approx0.368$,也就是 4.3 dB 的损耗。这就是为什么单模光纤耦合的调整架通常要做到亚微米级,而不是“光斑看起来重合”就行。波导的情况同理,只是模场不一定高斯,直接用重叠积分更稳妥。

准直与加工窗口

准直距离用 $2z_R$ 估计。$\lambda=1064$ nm 时,$w_0=1$ mm 对应 $2z_R=5.91$ m,$w_0=5$ mm 对应 148 m,$w_0=10$ mm 对应 590 m。若要求 100 m 内束宽不明显增大,取 $z_R=50$ m,由 $w_0=\sqrt{\lambda z_R/\pi}$ 得 $w_0\approx4.1$ mm,也就是束径约 8.2 mm。扩束能把准直距离按 $w_0^2$ 放大,但需要更大的镜片口径,指向稳定性和装调也更难;不是“扩得越大越好”。

加工窗口可以看成“焦斑”和“焦深”两个约束的交集。薄片精细加工希望焦斑小,但焦深也随之变短,材料厚度或离焦必须落在焦深以内;中厚材料希望焦深覆盖厚度,往往要接受更大的焦斑和更低的峰值强度。表 6 把本文用到的几组参数放在一起,说明每个任务先看哪个量。

表 6:参数在不同任务中的落点(数值为本文公式估算,用于说明取舍,不是工艺规范)

任务 先看的参数 本文数值例子 主要取舍
聚焦到小斑 $w_0'\approx\lambda f/(\pi w_{\mathrm{in}})$ $f=50$ mm,$w_{\mathrm{in}}=1$ mm → 16.9 µm 焦距越短、入射越粗,斑越小;焦深越短
保持焦深 $2z_R'=2\pi w_0'^2/\lambda$ 16.9 µm → 1.69 mm;33.9 µm → 6.77 mm 斑缩小一半,焦深变成四分之一
进单模光纤 腰斑比 $w_0'/w_f$ 3.39 µm / 3.1 µm → $\eta=0.992$ 腰斑太小时效率也下降;对准到亚微米
长距离准直 $2z_R=2\pi w_0^2/\lambda$ $w_0=10$ mm → 590 m 扩束提高 $z_R$,但口径和指向更难
加工窗口 $w_0'$ 与 $2z_R'$ 同时看 20 µm 斑 → 2.36 mm 焦深 材料厚度要落在焦深内,峰值强度要够

参数落点的两条取舍曲线

图 5:参数落点的两条取舍曲线。(a) 两高斯模同轴、同一腰平面时的耦合效率 $\eta=[2r/(1+r^2)]^2$,$r=w_0'/w_f$;红点标出 $r=1$、1.09 和 2.0 的位置。(b) $\lambda=1064$ nm、$w_{\mathrm{in}}=1$ mm 时,聚焦腰斑 $w_0'$ 与焦深 $2z_R'$ 随焦距 $f$ 的变化(按 ABCD 精确式计算);虚线标出 $f=100$ mm 处的 33.9 µm 与 6.77 mm。

图 5(a) 的顶部很平,说明腰斑匹配不需要追求“精确到小数点后两位”;真正难的是偏移和波前。图 5(b) 的两条曲线同向增大,但焦深按焦距平方增长:把焦距从 100 mm 缩到 50 mm,腰斑减半,焦深只剩四分之一。加工窗口就是在这个平方关系里找一个能覆盖材料厚度、又能把峰值强度做够的位置。

六、适用边界与容易混淆的量

本文的公式都建立在傍轴、标量、单色和理想高斯模的假设上。常见激光光路的发散角只有毫弧度量级,$w_0$ 也远大于波长,这些条件成立得很好;但当 $w_0$ 接近或小于波长、或聚焦系统的数值孔径超过约 0.5 时,傍轴标量近似明显失效,需要矢量衍射或严格的麦克斯韦解法。此时本文的公式只能给出量级,不能用来预测焦斑的精确形状。

$M^2$ 也有自己的适用条件。它是用第二矩束宽和双曲线拟合定义的,适合描述“能用一条双曲线近似”的光束;如果光束被硬边光阑严重截断、由几个分离的光斑组成,或者像散很复杂,单一个 $M^2$ 不能概括它的聚焦行为。ISO 11146-1 处理旋转对称和简单像散的光束,更一般的像散要用 ISO 11146-2。厂商报 $M^2$ 时,最好同时问清束宽定义、拟合位置和是否扣背景。

束宽定义是另一个容易混淆的地方。对同一个高斯光束,$1/e^2$ 半径 $w$、FWHM 直径 $1.177w$、第二矩直径 $d_\sigma=2w$ 描述的是同一个分布,但数值不同;对非高斯光束,它们可能差得更多。看到“光斑直径 50 µm”时,先确认是 $1/e^2$、FWHM 还是 D4σ,再和本文的公式比较。同理,发散角有半角和全角之分:本文的 $\theta$ 是半角,ISO 的 $\Theta$ 是全角,$\Theta=2\theta$;$M^2$ 公式里的分母因此是 $4\lambda$ 而不是 $2\lambda$。

“准直”也不是一个固定的终点。$2z_R$ 是常用的工程尺度,不是硬边界;如果实际传播距离远小于 $z_R$,光束看起来就是平行的,超过 $2z_R$ 后束宽仍会连续增大。$q$ 参数的符号取决于时间约定,本文取 $e^{-i\omega t}$;换一种约定时 $q$ 的虚部符号会变,但 $w$、$R$、$|q|$ 这些可测量不会变。ABCD 矩阵只适用于近轴元件,遇到光阑、强截断、大角度偏折或高数值孔径聚焦时,不能用一个 $2\times2$ 矩阵概括全部衍射效应。

实际估算的顺序可以反过来:先确认束宽定义和 $M^2$ 口径,再用 $w_0$、$z_R$、$\theta$ 三个量算一遍;如果三个数互相矛盾,先检查是不是把半径/直径、半角/全角或不同束宽定义混在了一起。激光聚焦估算出现偏差时,先检查这些定义,而不是怀疑公式本身。

参考资料

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高斯光束参数与传输:束腰、瑞利长度、M² 与 ABCD
https://time-frame.cloud/2026/10/29/2026-10-29-laser-gaussian-beam-parameters/
作者
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发布于
2026年10月29日
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